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반도체장비
(주)토모에서 만드는 최고의 반도체장비 입니다.
IPA 공급 장치
45nm 공정 세정시스템용 IPA 초정밀 공급 SYSTEM MODULE
특징
기포 제거 System
정유량 및 정압 공급 System
단독 제어 시스템
Chemical 공급 장치
45nm 공정 세정시스템용 Chemical Mixing SYSTEM MODULE
특징
Chemical Mixing System
유량 및 정압 공급 System
아이리스 모듈 공급